派克直線電機(jī)的優(yōu)點(diǎn)是：結(jié)構(gòu)簡單、反應(yīng)速度快、靈敏度高、隨動性好、密封性好、不怕污染、適應(yīng)性強(qiáng)、工作穩(wěn)定可靠、壽命長。但是直線電機(jī)又分兩種：一種是無鐵芯直線電機(jī)、另一種是有鐵芯直線電機(jī)（鐵芯直線電機(jī)），這兩種直線電機(jī)都各有優(yōu)勢。
無鐵芯直線電機(jī)優(yōu)勢：
★沒有吸引力 ──平衡的雙重磁軌，安全且易于處理，安裝時不需要處理吸引力
★沒有齒槽效應(yīng)──無鐵芯動子，沒有齒槽效應(yīng)，運(yùn)行極度平滑
★低重量動子──沒有鐵芯意味著更高的加速度及減速度，更高的機(jī)械帶寬
★固定氣隙──易于對齊及安裝
與鐵芯直線電機(jī)相比的劣勢：
★散熱方面──更高的熱敏電阻，工字型結(jié)構(gòu)設(shè)計緩解這一問題
★同鐵芯設(shè)計相比，更低的RMS功率
★要使用兩倍量的磁鐵，增加了單位成本

、有鐵芯直線電機(jī)優(yōu)勢：
★每一尺寸更高的動力──使用疊片結(jié)構(gòu)來集中磁通量
★更低的成本──開放界面設(shè)計只使用單排磁鐵
★疊片結(jié)構(gòu)及大的表面面積確保良好的散熱
與無鐵芯直線電機(jī)相比的劣勢：
★正常吸引力──5到13倍于所產(chǎn)生的推力
★齒槽效應(yīng)──限制運(yùn)動的平滑性，產(chǎn)生速度波動。使用防齒槽技術(shù)能有效抵消齒槽效應(yīng)

派克直線電機(jī)應(yīng)用舉例：

案例一：CVD ( 化學(xué)氣相沉積) ，用于LCD, OLED 和太陽能板真空沉積膜

案例二：VAS ( 真空安裝系統(tǒng)) ，用于AMOLED 封裝過程

案例三：XY 平臺，用于半導(dǎo)體考慮真空條件下直線電機(jī)應(yīng)用

★真空度
   ●Parker 無鐵芯直線電機(jī)采用標(biāo)準(zhǔn)選項-V后可以適用于10 ^ -6 Torr 環(huán)境
★排氣孔
   ●線圈上的安裝孔直接鉆穿以消除盲孔
   ●線圈的裝飾性噴涂和修復(fù)被省略以防止可能的氣泡
   ●磁軌上也鉆有排氣孔以消除可能的氣泡
★清潔Cleaning
   ●對所有器件的特殊清潔和操作以消除任何雜物
   ●特殊的包裝用來避免運(yùn)輸過程的雜物
★在真空環(huán)境下特殊的選型計算
   ●因?yàn)檎婵窄h(huán)境下沒有任何對流冷卻，需要特殊選型和計算

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